ASTM F1513-1999(2003) 电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范
作者:标准资料网 时间:2024-04-29 11:49:10 浏览:8116
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【英文标准名称】:StandardSpecificationforPureAluminum(Unalloyed)SourceMaterialforElectronicThinFilmApplications
【原文标准名称】:电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范
【标准号】:ASTMF1513-1999(2003)
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:1999
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.17
【标准类型】:(Specification)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子薄膜器件;纯铝(非合金)原材料;真空电子器件;践射目标;目标;薄膜;覆层;铝电导体;蒸发;半导体
【英文主题词】:aluminum;coating;evaporation;sputtering;targets;thinfilms;vacuumcoating
【摘要】:1.1Thisspecificationcoverspurealuminummetal(unalloyed)foruseinevaporationsourcesandsputteringtargets.Thismaterialisintendedasarawmaterialforelectronicapplications.Thematerialisusedas-suppliedinsomecases(forexample,ase-beamevaporationsources).Inotherinstancesitmayberemelted,alloyed,castandprocessedbythepurchasertomakefinishedproducts(forexample,sputteringtargets).1.2Thisspecificationsetspuritygradelevels,physicalattributes,analyticalmethods,andpackaging.1.3ThevaluesstatedinSIunitsaretoberegardedasthestandard.Thevaluesgiveninparenthesesareforinformationonly.
【中国标准分类号】:H61
【国际标准分类号】:31_200
【页数】:2P.;A4
【正文语种】:
【原文标准名称】:电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范
【标准号】:ASTMF1513-1999(2003)
【标准状态】:现行
【国别】:
【发布日期】:1999
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.17
【标准类型】:(Specification)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电子薄膜器件;纯铝(非合金)原材料;真空电子器件;践射目标;目标;薄膜;覆层;铝电导体;蒸发;半导体
【英文主题词】:aluminum;coating;evaporation;sputtering;targets;thinfilms;vacuumcoating
【摘要】:1.1Thisspecificationcoverspurealuminummetal(unalloyed)foruseinevaporationsourcesandsputteringtargets.Thismaterialisintendedasarawmaterialforelectronicapplications.Thematerialisusedas-suppliedinsomecases(forexample,ase-beamevaporationsources).Inotherinstancesitmayberemelted,alloyed,castandprocessedbythepurchasertomakefinishedproducts(forexample,sputteringtargets).1.2Thisspecificationsetspuritygradelevels,physicalattributes,analyticalmethods,andpackaging.1.3ThevaluesstatedinSIunitsaretoberegardedasthestandard.Thevaluesgiveninparenthesesareforinformationonly.
【中国标准分类号】:H61
【国际标准分类号】:31_200
【页数】:2P.;A4
【正文语种】:
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